光伏废水主要来源于硅棒在切断、磨削、切片以及硅片在研磨、腐蚀、抛光等过程产生的助剂废液和清洗废水，其处理难点主要包括：有机物（主要是聚乙二醇等）、悬浮物（主要是硅粉、碳化硅）浓度高，并含有氟离子及酸碱（主要是氢氟酸、硝酸及其他缓冲酸）等污染物。
生产废水排入综合调节池，与经过生化预处理后的生活污水混合，主要调节水质、水量保证后续处理效果稳定，减轻对后续工艺的负荷冲击。调节池出水经泵提升进入多介质过滤器，去除水中悬浮物，保护后续电渗析系统。电渗析后的废水，采用蒸发器进行处理，得到盐水分离的产物，废水回用，盐分外运。
1、电解法处理工艺
当含盐废水中含盐量达到总质量1%以上时，废水具有与较高导电性，这一特点促使了电解工艺的发展。
在切换正负极性时，原本附着在电极表面的金属析出物会失去电子变为游离态的离子，使凝结在电极表面的物质脱落。经过上述处理，重金属离子析出，形成工业废渣排出，从而达到去除COD值的目的。
2、膜分离处理工艺
膜分离技术一种比较新型的分离技术，利用膜对混合物中各组分选择透过性能的差异来分离、提纯和浓缩目标物质。根据膜壁小孔，孔径大小可以分为：微滤膜、超滤膜、纳滤膜（NF）、反渗透膜。
反渗漏技术在含盐废水处理中应用较为广泛的，反渗透技术的优势在于能较为有效脱盐，去除部分溶解性有机物。但膜易堵塞、污染、处理起来费用较高。
3、离子交换法处理工艺
离子交换是一个单元操作过程，利用溶液中的离子与不溶性聚合物上的反离子之间产生的交换反应从而达到除盐的效果。
含盐废水经过阳离子交换柱，其中带正电荷的离子被H+置换而滞留在交换柱内；之后，带负电荷的离子在阴离子交换柱中被OH－置换，置换出的OH－与溶液中的H+。但此处理有一个问题，含盐废水中的固体悬浮物会堵塞树脂失去效果，离子交换树脂再生费用较高昂。